激光加工的具体工艺及加工效果与激光与物质相互作用的过程关系密切，直接影响了加工的效果和器件是否达到使 用标准。对激光加工技术的应用研究取得的成果如图 7.1 和图 7.2 所示。

目前已经掌握了激光直写技术制备多尺度器件的技术手段，包括超细晶薄膜制备方法、激光束超衍射纳米加工直写 技术，以及常用的表征技术 SEM、TEM、XRD、RAMAN 等 检测技术。并针对无掩模纳米光刻技术中材料选择、超衍射 纳米光刻中各种物理效应和加工参数对纳米结构加工的影响因素与控制机制，发展了多种激光微纳米制备的关键技术和 新方法，在纳米尺度下光与物质相互作用的光物理的原理与过程也进行了深入研究。预期可在激光应用的具体工艺探索 和改进方面进行突破。