激光加工的具体工艺及加工效果与激光与物质相互作用的过程关系密切，直接影响了加工的效果和器件是否达到使 用标准。 

1）前期研究基础及成果 

 （1）激光加工出的微纳米结构的成分分析过程 a. 原图 b. 激光加工的出的灰度掩模在显微镜下的图片 c-h 每一个 激光加工点的成分配比分析 

  (2) 激光加工结合其他工艺制作的三维结构。

2）研究计划及预期成果 

 长期致力于激光加工技术的应用进行研究，目前已经掌握了激光直写技术制备多尺度器件的技术手段，包括超细晶 薄膜制备方法、激光束超 衍射纳米加工直写技术，以及常用的表征技术 SEM、TEM、XRD、RAMAN 等 检测技术。并 针对无掩模纳米光刻技术中材料选择、超衍射纳米光刻中各种物理效应和加工参数对纳米结构加工的影响因素与控制机 制，发展了多种激光微纳米制备的关键技术和新方法，在纳米尺度下光与物质相互作用的光物理的原理与过程也进行了 深入研究。预期可在激光应用的具体工艺探索和改进方面进行突破。