湿度传感器芯片广泛应用于如下领域， 

·医疗 - 婴儿暖箱，呼吸机 

·工业 - 工业空调，制冷 

·气象 ·通信 

·手机 

目前国际上通用的方法，有电容式湿度传感器以及电阻式湿度传感器芯片 2 类。

电容式湿度传感器芯片是根据介电聚合物的电容 - 电容随水蒸气相对饱和度的变化呈线性变化。 

电阻式湿度传感器芯片是基于当水蒸气被吸收时，体电阻聚合物传感聚合物发生电离。交流电阻随相对湿度的增加 呈指数下降。

电容式湿度传感器芯片相对于电阻式有如下优势：工作温度高，全范围相对湿度，线性度高和响应时间快。

MEMS 电容式湿度传感器芯片，基于如下结构， 

半导体硅做基底，利于与后续处理电路集成。其原理是基于薄膜 polyimide 聚合物的绝缘常数变化，导致传感电 容值发生变化；合适地选择和后处理特殊 polyimide 聚合物，它会精确地吸收空气中的水分，或吐纳所吸收的水分到 空气中，使得聚合物的湿度与被测环境的湿度完全一致；精确地测量聚合物电容值，即可获得被测湿度值 。

本项目的研究内容为

A. 优化湿度与电容的关系，传感器的温度补偿原理，提出传感器芯片的设计方案；

B. 优化材料研究，Polymer 材料选择，前处理，后处理，以减小迟滞影响；

C. 多孔电极材料 Platinum 工艺处理研究，确保湿度水分子自由通过电极，从而提高芯片的响应时间和灵敏度