精密制造的加工误差从过去的微米尺度已经进入了纳米和亚纳米尺度。因此，先进制造业对精密测量仪器的需求越来越广泛，同时误差要求也越来越高。在现代高端制造业中，亟需纳米级精测的行业包括显示面板，半导体芯片，高端机床， 光刻机以及 LED 行业。显示技术的下游领域包括智能手机、平板电脑、笔记本电脑、电视、显示器等，并且未来有可 能在汽车电子、工业控制、电子标签、智慧医疗等新兴领域扮演重要角色。因此 MiniLED、MicroLED、OLED 产业的 爆发给中国面板制造行业提供了巨大的机会。但 OLED 生产制造过程工艺调控复杂，亟需大量程纳米尺度测量系统对生 产工艺进行在线调控。 

本技术主要面向大尺度（单一维度大于 1 米）的精密测量，曾获得中国创新创业大赛 - 先进制造行业全国三等奖， 已有成果如图 3.1 所示。

该技术主要应用于显示面板行业，以及科研类的大平台。该系统可以直接应用于 OLED 前端的关键尺寸、器件表面粗糙度测量（分辨率：1nm）。科研类主要面向大型光栅尺的研究等领域。同时系统可以扩展与白光干涉仪等系统结合实现高速高精度的量测。